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億級及百萬級分辨率CMOS圖像傳感器研制

文章來源:中國科學院長春技術轉移中心  |  發布時間:2019-02-26  |  閱讀次數:513  |  【打印】 【關閉

以中科院長春光機所的技術為依托,本項目為我國首次開發分辨率超過1億的CMOS圖像傳感器,并孵化成立了“長春長光辰芯光電技術有限公司”。基于本項目,項目組與芯片代工廠共同研發了通過多次曝光實現無縫拼接技術,通過考慮曝光拼接需求、進行分塊拼接設計、仿真、驗證及投產等工序,解決了現代光刻機單次曝光芯片物理尺寸受限的問題,實現了大面陣芯片的研制。通過該項技術,項目組成功研制了多款超過分辨率CMOS圖像傳感器,其中包括1.5億分辨率CMOS圖像傳感器、6千萬分辨率CMOS圖像傳感器等。 本項目研制的我國第一枚自主知識產權的、分辨率為1.5億像素的高性能CMOS圖像傳感器——GMAX3005,一次流片成功,經檢測各項指標數據良好。該芯片于3月發布,為目前世界上分辨率最高的CMOS圖像傳感器,得到世界矚目。同時,該芯片關鍵技術指標達到設計要求,并通過總裝備部現場評審。本項目研制的6000萬分辨率的CMOS圖像傳感器,現已替代Kodak的KAI29050,成為PCB板檢測、LCD屏幕檢測和印刷品等工業檢測領域的主流器件。其中,國內的眾多成像設計開發公司采用該器件開發的手機屏幕檢測設備已經進入批量生產,打破了國內高端視覺質量檢測儀幾乎被國外壟斷的局面,提升了我國在該行業的核心競爭力。本項目研制的CMOS圖像傳感器推動了高端成像設備在中國的發展,抓住了科學前沿發展機遇,促進了多領域的交叉發展,提升了我國核心競爭力和持續高速創新,打破了國外對我國高端成像領域的技術封鎖,促進了我國經濟社會可持續發展。本項目的研制成果能夠完全替代并超越國外進口器件,實現從器件到設備、從設備到裝備的全面國產化,為各行業每年創造巨大的經濟價值。

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